形状测量激光显微系统

VK-X 系列

本型号已停产。
产品符合从我司发货时的认证标准。

联系bifa·必发(唯一)中国官方网站: 4008-215-686 意见表

测量部 VK-X260K

VK-X260K - 测量部

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

技术规格(PDF)

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

bifa·必发(唯一)中国官方网站:型号

bifa·必发(唯一)中国官方网站:VK-X260K

bifa·必发(唯一)中国官方网站:综合倍率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:28000 倍以下*1

bifa·必发(唯一)中国官方网站:视野 (最小观察范围)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:11 µm 至 5400 µm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:帧频率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光测量速度

bifa·必发(唯一)中国官方网站:4 至120 Hz、7,900 Hz*2

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量原理

bifa·必发(唯一)中国官方网站:光学系统

bifa·必发(唯一)中国官方网站:针孔共聚焦光学系统

bifa·必发(唯一)中国官方网站:光接收元件

bifa·必发(唯一)中国官方网站:光电倍增器、16 bit 感应

bifa·必发(唯一)中国官方网站:扫描方式 (常规测量时及图像连接时)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度测量

bifa·必发(唯一)中国官方网站:显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.5 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:线性标尺

bifa·必发(唯一)中国官方网站:动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:16 bit

bifa·必发(唯一)中国官方网站:重复精度σ

bifa·必发(唯一)中国官方网站:20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:Z轴测量用内存

bifa·必发(唯一)中国官方网站:1400 万步骤

bifa·必发(唯一)中国官方网站:准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4

bifa·必发(唯一)中国官方网站:Z 载物台结构

bifa·必发(唯一)中国官方网站:结构

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量头分离结构

bifa·必发(唯一)中国官方网站:最大样品高度

bifa·必发(唯一)中国官方网站:28 mm, 128 mm (可选件)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度测量

bifa·必发(唯一)中国官方网站:显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:重复精度3σ

bifa·必发(唯一)中国官方网站:20 倍 100 nm、50 倍 40 nm、150 倍 20 nm*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:±2%*5

bifa·必发(唯一)中国官方网站:XY 载物台结构

bifa·必发(唯一)中国官方网站:手动 运行范围

bifa·必发(唯一)中国官方网站:70 mm×70 mm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:电动 运行范围

bifa·必发(唯一)中国官方网站:50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6

bifa·必发(唯一)中国官方网站:观察

bifa·必发(唯一)中国官方网站:观察图像

超高精细彩色CCD 图像
16 bit 激光彩色共焦点图像
共焦点+ ND 滤波器光学系统
C- 激光微分干涉图像

bifa·必发(唯一)中国官方网站:最大拍摄分析率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:3072×2304

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量用激光光源

bifa·必发(唯一)中国官方网站:波长

bifa·必发(唯一)中国官方网站:紫激光 408 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:最大输出

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.95 mW

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光产品

bifa·必发(唯一)中国官方网站:2 类激光产品 (GB7247.1)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:重量

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量部

bifa·必发(唯一)中国官方网站:约26 kg(分离时测量头单体: 约10 kg)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:控制器部

bifa·必发(唯一)中国官方网站:约 11 kg

*1 23 英寸显示器记载。
*2 测量模式/测量品质/镜头倍率的组合中、取最快的一组组合时。线扫描的情况下、测量间距小于 0.1 µm 时。
*3 在环境温度20±2℃下使用20 倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130 的100 倍镜头除外。
*4 在环境温度 20 ±2 °C 下使用 20 倍以上的镜头测量标准样品 (基准尺寸) 时。但 VK-X120/130 的 100 倍镜头除外。
*5 在环境温度20±2℃下使用20倍以上的镜头测量标准样品(基准尺寸)时。但VK-X120/130的100倍镜头除外。
*6 安装电动载物台时。

技术规格(PDF) 其他型号