形状测量激光显微系统
VK-X3000 系列
测量头 VK-X3050
规格
bifa·必发(唯一)中国官方网站:型号 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:VK-X3050 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:类型 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量头 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:综合倍率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:42 至 28800 倍*1 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:视野范围 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:11 至 7398 μm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量原理 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光光源波长 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:半导体激光 661 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:最高激光测量速度 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光最大输出 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1.0 mW | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光等级 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:2 类激光产品(GB7247.1) | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光受光元件 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:16 bit 感应光电倍增器 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色光源 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色 LED | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色光受光元件 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:超高精细彩色 CMOS | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光共聚焦 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 nm | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度重复精度 σ | bifa·必发(唯一)中国官方网站:10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :20 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度准确性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度重复精度 3σ | bifa·必发(唯一)中国官方网站:10 倍 :400 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :50 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度准确性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量值 ±2% 以内*3 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:聚焦变化 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 nm | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度重复精度 σ | 5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度准确性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.2+L/100 μm 以下*3 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度重复精度 3σ | 5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度准确性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量值 ±2% 以内*3 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:白光干涉 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.01 nm | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:Surface Topography Repeatability | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.08 nm*4 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:Repeatability of RMS | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.008 nm*4 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:分光干涉膜厚测量 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:重复精度 σ | bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm*4 | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:准确性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:±0.6%*4 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:光学观察 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:像素数 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:560 万 | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:转换器 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:6 孔电动镜头转换器 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:适用于环形照明的镜头 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:2.5 倍、5 倍、10 倍 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:光学变焦 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 至 8 倍 | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:XY 载物台结构 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:手动运行范围 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:70 × 70 mm | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:电动运行范围 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:100 × 100 mm | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:电源 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:电源电压 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:消耗功率 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:150 VA | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:环境抗耐性 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:环境温度 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:+15 至 28°C | ||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:相对湿度 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:20 至 80% RH(无凝结) | |||
bifa·必发(唯一)中国官方网站:重量 | bifa·必发(唯一)中国官方网站:约 13 kg | |||
*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时) |