形状测量激光显微系统

VK-X3000 系列

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测量头 VK-X3100

VK-X3100 - 测量头

*请注意,图片中的配件可能不包括在产品中。

技术规格(PDF)

  • CE 标志概述
  • CSA

规格

bifa·必发(唯一)中国官方网站:型号

bifa·必发(唯一)中国官方网站:VK-X3100

bifa·必发(唯一)中国官方网站:类型

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量头

bifa·必发(唯一)中国官方网站:综合倍率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:42 至 28800 倍*1

bifa·必发(唯一)中国官方网站:视野范围

bifa·必发(唯一)中国官方网站:11 至 7398 μm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量原理

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉、分光干涉

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光光源波长

bifa·必发(唯一)中国官方网站:半导体激光 404 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:最高激光测量速度

bifa·必发(唯一)中国官方网站:面 :125 Hz、线 :7900 Hz*2

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光最大输出

bifa·必发(唯一)中国官方网站:1.0 mW

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光等级

bifa·必发(唯一)中国官方网站:2 类激光产品(GB7247.1)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光受光元件

bifa·必发(唯一)中国官方网站:16 bit 感应光电倍增器

bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色光源

bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色 LED

bifa·必发(唯一)中国官方网站:白色光受光元件

bifa·必发(唯一)中国官方网站:超高精细彩色 CMOS

bifa·必发(唯一)中国官方网站:激光共聚焦

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度重复精度 σ

bifa·必发(唯一)中国官方网站:10 倍 :100 nm、20 倍 :40 nm、50 倍 :12 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.2+L/100 μm 以下*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度重复精度 3σ

bifa·必发(唯一)中国官方网站:10 倍 :200 nm、20 倍 :100 nm、50 倍 :40 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量值 ±2% 以内*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:聚焦变化

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度重复精度 σ

5 倍 :500 nm、10 倍 :100 nm、
20 倍 :50 nm、50 倍 :20 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.2+L/100 μm 以下*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度重复精度 3σ

5 倍 :400 nm、10 倍 :400 nm、20 倍 :120 nm、
50 倍 :50 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:测量值 ±2% 以内*3

bifa·必发(唯一)中国官方网站:白光干涉

bifa·必发(唯一)中国官方网站:高度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.01 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:宽度显示分辨率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:Surface Topography Repeatability

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.08 nm*4

bifa·必发(唯一)中国官方网站:Repeatability of RMS

bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.008 nm*4

bifa·必发(唯一)中国官方网站:分光干涉膜厚测量

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bifa·必发(唯一)中国官方网站:0.1 nm*4

bifa·必发(唯一)中国官方网站:准确性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:±0.6%*4

bifa·必发(唯一)中国官方网站:光学观察

bifa·必发(唯一)中国官方网站:像素数

bifa·必发(唯一)中国官方网站:560 万

bifa·必发(唯一)中国官方网站:转换器

bifa·必发(唯一)中国官方网站:6 孔电动镜头转换器

bifa·必发(唯一)中国官方网站:适用于环形照明的镜头

bifa·必发(唯一)中国官方网站:2.5 倍、5 倍、10 倍

bifa·必发(唯一)中国官方网站:光学变焦

bifa·必发(唯一)中国官方网站:1 至 8 倍

bifa·必发(唯一)中国官方网站:XY 载物台结构

bifa·必发(唯一)中国官方网站:手动运行范围

bifa·必发(唯一)中国官方网站:70 × 70 mm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:电动运行范围

bifa·必发(唯一)中国官方网站:100 × 100 mm

bifa·必发(唯一)中国官方网站:电源

bifa·必发(唯一)中国官方网站:电源电压

bifa·必发(唯一)中国官方网站:100 至 240 VAC、50/60 Hz

bifa·必发(唯一)中国官方网站:消耗功率

bifa·必发(唯一)中国官方网站:150 VA

bifa·必发(唯一)中国官方网站:环境抗耐性

bifa·必发(唯一)中国官方网站:环境温度

bifa·必发(唯一)中国官方网站:+15 至 28°C

bifa·必发(唯一)中国官方网站:相对湿度

bifa·必发(唯一)中国官方网站:20 至 80% RH(无凝结)

bifa·必发(唯一)中国官方网站:重量

bifa·必发(唯一)中国官方网站:约 13 kg

*1 23 寸显示器画面上的倍率(全屏显示时)
*2 测量模式 / 测量品质 / 镜头倍率的组合中,取最快的一组组合时。线扫描的情况下,测量间距小于 0.1 μm 时。
*3 使用 20 倍以上的镜头测量标准样品时
*4 bifa必发规定测量环境下的代表值。

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